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傅里葉紅外光譜儀

簡要描述:v應用:用于半導體材料內(nèi)部含量檢測,同質(zhì)外延厚度測量和其他應用

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

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更新時間

2024-10-22

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詳細介紹

v 應用:用于半導體材料內(nèi)部含量檢測,同質(zhì)外延厚度測量和其他應用,用于的半導體工廠,在硅生長和器件制造領域進行材料表征

v 光譜范圍:遠紅外、中紅外、近紅外、可見光

v 信噪比:>55000:1

v 光譜分辨率(cm-1):<0.09電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm


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